MEB de table Phenom ProX

Le MEB de table Phenom ProX est le système ultime tout-en-un d'imagerie et d'analyse par rayonnements X. Le MEB de table Phenom ProX permet d'étudier en même temps la structure physique de l'échantillon et d'en déterminer la composition chimique grâce à son détecteur EDS spécifique. 

L'EDS est une technique qui utilise les rayonnements X générés par un faisceau d'électrons sur un échantillon. L'analyse d'éléments EDS est entièrement intégrée au MEB de table Phenom ProX et combinée en un seul module avec le détecteur de rayonnements X et le logiciel de commande.

Le logiciel d'identification d'éléments peut être utilisé pour l'analyse d'une ou plusieurs zones afin d'identifier les éventuelles contaminations sur un échantillon. En outre, les performances de ce logiciel peuvent être étendues au moyen d'un logiciel de cartographie d'éléments ou de balayage pour l'identification des éléments. 

Le Phenom ProX est le MEB de table le plus polyvalent avec analyseur EDS intégré. Sa plage de grossissement est comprise entre 20 x et 130 000 x. Sa résolution est inférieure à 12 nm.