Spectromètre de masse pour analyse de gaz résiduels

Les spectromètres de masse de la marque Hiden Analytical permettent d'analyser les gaz et les vapeurs dans des procédés et chambres sous vide.

RGA Series : mesure temps réel de concentration en gaz ou vapeur

Système pour l'analyse du contenu d'un récipient ou dérivés d'un process

  • Gamme de masse : 50,100, 200, 300 ou 510 amu
  • Concentration minimale détectable (HALO) : 2 x 10-13 mbar
  • Concentration minimale détectable (3F) : 2 x 10-14 mbar
  • Concentration minimale détectable (3F-PIC) : 2 x 10-15 mbar
  • Source d'ions : gamme de sources par impact d'électrons disponible
  • Contrôle complet de la source d'ions : oui
  • Emission électronique : ajustable par logiciel entre 1 µA et 2 mA
  • Energie électronique : ajustable par logiciel entre 0 V et 150 eV
  • Energie d'ions : ajustable par logiciel entre 0 V et 10 eV
  • Détecteur : détecteur Faraday et multiplicateur d'électrons
  • Bride (HALO) : bride DN-35-CF (2.75"/70 mm)
  • Bride (3F – triple filtre) : bride DN-63-CF (4.5”/114 mm)

Ion Source Options : analyseurs de gaz résiduels configurés pour des applications spécifiques, comme l'analyse de faisceaux moléculaires

Une gamme de sources par impact d'électrons qui peut être montée sur l'ensemble des analyseurs de gaz résiduels

  • RGA standards : configuration à symétrie radiale pour les applications générales
  • UHV low profile : optimisé pour les études de TPD UHV
  • Source fermée : entrées de gaz directes avec pompage différentiel pour l'analyseur
  • XBS Cross Beam : mesure et contrôle de la vitesse de dépôt en MBE
  • Cross Beam standard : utilisé quand le faisceau peut être lié aux condensés sur les surfaces de la source
  • Laser Cross Beam : 2 passages libres perpendiculaires pour la photo ionisation par laser
  • Optique électronique de 4 lentilles (avec source d'ions intégrée) : analyse de désorption stimulée par électrons, photons et laser
  • Source d'ions en platine : opération avec des gaz réactifs
  • Source d'ions plaquée or : minimiser l'effet du dégazage de la source en UHV

HMT : mesure de gaz résiduels, contaminations et détection de fuites

Double mode RGA pour diagnostic du vide et surveillance de procédé sans pompage différentiel

  • Gamme de masse : 100 amu
  • HMT - mode RGA haute pression : jusqu'à 5 x 10-3 mbar
  • RGA - mode : détection jusqu'à 2 x 10-13 mbar
  • Mode détection de fuites : paramétré pour la recherche d'Helium en standard
  • Bride : DN-35-CF (70 mm OD)
  • Détecteur (standard) : détecteur Faraday
  • Détecteur (option) : multiplicateur d'électrons

HAL 201 RC : mesure la concentration de gaz et vapeur en temps réel

Analyseur de gaz résiduels configuré pour les applications UHV exigeantes

  • Gamme de masse : 200 amu
  • Concentration minimale détectable : 5 x 10-14 mbar
  • Source d'ions : source d'ions plaquée or
  • Contrôle complet de la source d'ions : oui
  • Emission électronique : ajustable par logiciel entre 1 µA et 2 mA
  • Energie électronique : ajustable par logiciel entre 0 V et 150 eV
  • Energie d'ions : ajustable par logiciel entre 0 V et 10 eV
  • Détecteur : détecteur Faraday et multiplicateur d'électrons
  • Bride : DN-35-CF (2.75"/70 mm OD)

HALO 201 MBE : mesure de gaz résiduels, contamination et détection de fuites dans les systèmes MBE

Analyseur de gaz résiduels configuré pour l'épitaxie par faisceaux moléculaires

  • Gamme de masse : 200 ou 300 amu
  • Pression partielle minimale détectable : 2 x 10-13 mbar
  • Mode détection de fuites : paramétré pour la recherche d'Helium en standard
  • Détecteur : détecteur Faraday et multiplicateur d'électrons
  • Filtre quadripolaire conçu pour les MBE : oui
  • Câblage électrique en Molybdène au lieu de cuivre : oui
  • Protection de la source d'ions pour éviter la contamination : oui
  • Extension thermique pour opérer tout en chauffant : oui (option)
  • Bride : DN-35-CF (2.75"/70 mm OD)

XBS : analyse des faisceaux moléculaires et contrôle du dépôt

Système pour l'analyse de plusieurs sources dans les applications MBE

  • Gamme de masse : 320 ou 510 amu
  • Cross beam source d'ions : sources X-beam multiples configurées par CAD
  • Angle d'acceptation : +/- 35 degrés de l'axe
  • Détermination du taux de croissance : typiquement < 0.01 Angstrom / s
  • Mode de détection de fuite : paramétré pour la recherche d'Helium en standard
  • Suivi de la vitesse de dépôt : sorties analogiques - 4, 8 ou 16 canaux
  • Option bras translateur vertical : oui (pour positionnement précis)
  • Protection refroidie par eau (option) : oui (protégé des sources de rayonnement)
  • Détecteur : détecteur Faraday et multiplicateur d'électrons

qRGA : mesure la pureté des carburants de fusion, notamment les isotopes de l'hydrogène, deuterium dans l'helium par exemple

Système pour la recherche sur les Tokamaks

  • Gamme de masse : 200 amu
  • Concentration minimale détectable : niveaux de détection inférieurs au ppm
  • Opération en mode double : RGA conventionnel, TIMS
  • Ionisation contrôlée pour potentiel d'ionisation APSI-MS : oui
  • Opération automatisée : oui
  • Logiciel utilisant des templates : oui
  • Sortie de données quantitatives : oui
  • Bride : DN-35-CF (2.75"/70 mm OD)
  • Détecteur : détecteur Faraday et multiplicateur d'électrons

3F Series / 1000 Series RGA : mesure les pressions partielles de gaz résiduels avec une très haute résolution et une gamme de masse étendue à 1000 uma

Système pour procédés scientifiques de haute précision

  • Gamme de masse : 50, 300, 510, ou 1000 amu
  • Concentration minimale détectable : 2 x 10-14 mbar
  • Source d'ions : gamme de sources par impact d'électrons disponible
  • Contrôle complet de la source d'ions : oui
  • Emission électronique : ajustable par logiciel entre 1 µA et 2 mA
  • Energie électronique : ajustable par logiciel entre 0 V et 150 eV
  • Energie d'ions : ajustable par logiciel entre 0 V et 10 eV
  • Détecteur : détecteur Faraday et multiplicateur d'électrons
  • Bride de l'analyseur :
    • Bride - diamètre fixation 6 mm : DN-63-CF (4.5"/114 mm OD)
    • Bride - diamètre fixation 9 mm : DN-100-CF (6"/150 mm OD)
    • Adaptateur système - fixation 6 mm : DN-35-CF (2.75”/70 mm OD)
    • Adaptateur système - fixation 9 mm : DN-63-CF (4.5”/114 mm OD)

3F-PIC / 1000 Series PIC : mesure la pression partielle des espèces en UHV avec compteur d'ions

Système pour analyses UHV transitoires rapides

  • Gamme de masse : 50, 300, 510 ou 1000 amu
  • Pression partielle minimale détectable : 5 x 10-15 mbar : 1 x 10-16 mbar
  • Acquisition rapide : > 500 mesures/seconde
  • Source d'ions à ionisation contrôlable : optimisé pour l'étude de désorption
  • Gating du signal : résolution du gating de 100 ns
  • Contrôle complet de la source d'ions : oui
  • Bride :
    • Bride - fixation 6 mm : DN-63-CF (4.5"/114 mm OD)
    • Bride - fixation 9 mm : DN-100-CF (6"/150 mm OD)
    • Adaptateur système - fixation 6 mm : DN-35-CF (2.75”/70 mm OD)
    • Adaptateur système - fixation 9 mm : DN-63-CF (4.5”/114 mm OD)

EPIC / EPIC 1000 Series : mesure les ions, neutres et pressions partielles en UHV/XHV

Système pour analyses UHV des neutres, radicaux et ions

  • Gamme de masse : 50, 300, 510, 1000, ou 2500 amu
  • Détecteur de comptage d'ions : positifs et négatifs
  • DMM - multimode dynamique : uniquement appliqué pour ionisation par attachement d'électrons pour l'analyse de gaz électronégatifs
  • Pression partielle minimale détectable : 5 x 10-15 mbar : 1 x 10-16 mbar
  • Vitesse de mesure : jusqu'à 500 mesures par seconde
  • Bride : 
    • Bride - fixation 6 mm : DN-63-CF (4.5"/114 mm OD)
    • Bride - fixation 9 mm : DN-100-CF (6"/150 mm OD)
    • Adaptateur système - fixation 6 mm : DN-35-CF (2.75”/70 mm OD)
    • Adaptateur système - fixation 9 mm : DN-63-CF (4.5”/114 mm OD)

IDP / IDP 1000 Series : mesure les ions et les neutres dans les désorptions générées par photons ou électrons

Système pour l'analyse d'ions, de neutres et de radicaux dans les études de désorption UHV

  • Gamme de masse : 50, 300, 510, 1000, ou 2500 amu
  • Détecteur de comptage d'ions : positifs et négatifs
  • Optique ionique intégrale IDP : optimisée pour détection d'ions à basse énergie en études ESD ou PSD
  • DMM - multimode dynamique : uniquement appliqué pour ionisation par attachement d'électrons pour l'analyse de gaz électronégatifs
  • Gating externe du signal : 100 ns de résolution du gating
  • Bride : 
    • Bride - fixation 6 mm : DN-63-CF (4.5"/114 mm OD)
    • Bride - fixation 9 mm : DN-100-CF (6"/150 mm OD)
    • Adaptateur système - fixation 6 mm : DN-35-CF (2.75”/70 mm OD)
    • Adaptateur système - fixation 9 mm : DN-63-CF (4.5”/114 mm OD)