Les spectromètres de masse de la marque Hiden Analytical permettent d’analyser les gaz et les vapeurs dans des procédés et chambres sous vide.

RGA Series : système pour l'examen des composants présents dans un récipient ou issus d'un procédé

  • Options de gamme de masse : 50, 100, 200, 300, ou 510 amu
  • Les options de détecteurs offrent une sensibilité allant du vide poussé à l’ultravide, UHV
  • Stabilité (moins de ±0.5% de variation de hauteur sur 24 h)
  • Contrôle du MASsoft via RS232, USB ou plusieurs systèmes via Ethernet LAN
  • Accès rapide à l’histogramme, à l’analyse des tendances et à l’affichage des pics analogiques
  • Balayage en mode mixte, par ex. analyse de tendance, histogramme et pics analogiques dans plusieurs fenêtres
  • Affichage simultané en temps réel des données d’analyse de tendance sous forme graphique et tabulaire
  • Curseur pour l’identification de la hauteur des pics sous le contrôle de la souris
  • Soustraction du bruit de fond en temps réel, alignement automatique de l’échelle de masse
  • Possibilité d’exporter les données au format ASCII et vers tous les périphériques Windows
  • netMASsoft, un serveur Web embarqué pour le fonctionnement du RGA à partir de votre navigateur Web

HALO RGA : pour l'analyse des gaz résiduels

  • Options de gamme de masse : 100, 200 et 300 amu
  • Accès rapide à l’histogramme, à l’analyse des tendances et aux pics analogiques
  • Balayage en mode mixte, analyse des tendances, histogramme et pics analogiques dans un affichage multi-fenêtre par exemple
  • Identification des espèces sous vide avec analyse automatisée
  • Affichage simultané en temps réel des données d’analyse de tendance sous forme de graphique et de tableau
  • Acquisition de données à partir de plusieurs systèmes via Ethernet
  • Bibliothèque intégrée de spectres de masse avec des possibilités d’édition complètes
  • Possibilité d’exporter les données au format ASCII

HMT : système RGA bimode pour le diagnostic du vide et la surveillance des processus

  • Mode HMT pour un fonctionnement à haute pression jusqu’à 5×10-3 mbar (pression partielle détectable min. 5×10-8 mbar)
  • Mode RGA pour un fonctionnement à haute sensibilité à P < 10-4 mbar (pression partielle détectable min 2 x 10-11 mbar)
  • Gamme de masse de 100 amu, interface de contrôle à distance (PC) via le logiciel MASsoft Professional PC
  • Stabilité (moins de ±1% de variation de hauteur sur 24 h)
  • Contrôle par le logiciel MASsoft via RS232, USB ou plusieurs systèmes via Ethernet LAN
  • Accès rapide, balayage en mode mixte Trend et Analogique dans plusieurs fenêtres par exemple
  • Affichage simultané en temps réel des données d’analyse de tendance sous forme graphique et tabulaire
  • Curseur pour l’identification de la hauteur des pics sous le contrôle de la souris
  • Soustraction du bruit de fond en temps réel, alignement automatique de l’échelle de masse
  • Facilité d’exportation des données au format ASCII et vers tous les périphériques Windows
  • Fonction d’échange dynamique de données pour le transfert de données en temps réel vers d’autres applications Windows™ compatibles avec le client DDE, par exemple Excel, le logiciel de contrôle statistique de processus SPC-IV

Ion Source Options : gamme d'options de sources d'ions pour l'analyse des gaz résiduels

  • Le matériau standard du filament est l’iridium revêtu d’oxyde
  • Autres matériaux disponibles sur demande
  • Les options de source d’ions sont interchangeables
  • Sources ouvertes et fermées disponibles
  • Gamme de sources à faisceau croisé disponible
  • Options de profil standard et bas disponibles

HAL 101X RC : système pour la recherche sur la fusion tokamak/torus avec montage d'un analyseur à distance jusqu'à 80m de l'électronique sensible

  • Accès rapide à l’affichage des histogrammes, de l’analyse des tendances et des pics analogiques
  • Fichiers modèles pour l’analyse des hydrocarbures complexes et des hydrocarbures deutérés
  • Analyse quantitative He/D2
  • Affichage simultané en temps réel des données d’analyse de tendance sous forme de graphiques et de tableaux
  • Acquisition de données à partir de plusieurs systèmes via Ethernet
  • Alignement automatique des échelles de masse
  • Bibliothèque intégrée de spectres de masse avec des possibilités d’édition complètes
  • Fonctionnement de l’analyseur quadripolaire à des distances allant jusqu’à 80 m de l’électronique sensible

HAL 201 RC : analyseur de gaz résiduels configuré pour les applications UHV exigeantes

  • Sources d’ions plaquées or pour minimiser le dégazage de la source
  • Ioniseur à impact électronique avec filament d’iridium revêtu d’oxyde double
  • Double détecteur multiplieur d’électrons Faraday/channeltron
  • Pression partielle minimale détectable de 5 x 10-14 mbar
  • Pression de fonctionnement maximale de 1 x 10-4 mbar

HALO 201 MBE : système d'analyse des gaz pour les applications d'épitaxie par faisceau moléculaire

  • Câblage en molybdène à la place du câblage en cuivre pour améliorer la durée de vie du système RGA dans les environnements MBE
  • Enveloppe de la source d’ions résistant à la contamination
  • Double multiplicateur d’électrons Faraday/plaque à canaux
  • Pression partielle minimale détectable de 2 x 10-13 mbar
  • Option d’extension thermique pour le fonctionnement du RGA pendant l’étuvage

XBS : système pour la surveillance de sources multiples dans les applications de dépôt MBE

  • Haute sensibilité, détection améliorée de 100% à 5ppb, gamme de masse jusqu’à 510 amu
  • Stabilité à long terme améliorée (moins de ±0,5% de variation de hauteur sur 24 h)
  • Source d’ions transversale, acceptation du faisceau sur +/- 35° par rapport à l’axe transversal
  • Contrôle de la source d’ions pour l’ionisation douce et la spectrométrie de masse à potentiel d’apparition
  • Sensibilité améliorée pour une transmission de masse élevée, alignement automatique de l’échelle de masse
  • Ouverture d’acceptation du faisceau de 2 mm – configurée en fonction de l’application spécifique de l’utilisateur
  • Résistance améliorée à la contamination grâce à l’étage de pré-filtrage exclusivement RF
  • Enveloppe intégrée, compatible UHV, refroidie à l’eau
  • Limites de détection jusqu’à 30 ions/seconde dans les études par faisceau moléculaire
  • Contrôle des taux de croissance de 1Å/minute et moins
  • Contrôle MASsoft basé sur Windows™ via RS232, USB ou Ethernet LAN

3F-PIC / 1000 Series PIC : système d'analyse de gaz spécialisé pour les études UHV à événement rapide

  • Source d’ions à profil bas
  • Acquisition rapide des données
  • 500 points de données par seconde
  • Large gamme dynamique
  • Échelle logarithmique continue sur 7 décades
  • Entrée de déclenchement pour les études de gaz pulsés jusqu’à une résolution de déclenchement de 100 nanosecondes

3F Series / 1000 Series RGA : système d'analyse des gaz résiduels pour des analyses de haute précision scientifiques et de processus

  • Gamme de masse 50, 300, 510, 1000 amu, pôles en molybdène de 6 mm et 9 mm
  • Résolution de masse accrue, transmission de masse élevée et stabilité des ions
  • Contrôle complet de l’énergie des électrons de 0 à 150 eV pour le mode d’analyse complémentaire TIMS
  • Disponible avec détection SEM ou PIC ou modèles optionnels à double Faraday/SEM ou Faraday/PIC

IDP / IDP 1000 Series : système pour l'analyse des ions, des neutres et des radicaux dans les études de désorption UHV

  • Détecteur de comptage d’ions par impulsions avec présentation continue des données sur sept décades
  • Observation directe de la masse et des rendements des ions positifs/négatifs, des radicaux et des neutres
  • Optique ionique à 4 lentilles avec ioniseur d’électrons intégré et enveloppe compatible UHV
  • Distribution de l’énergie ionique par balayage du potentiel sur l’axe central ±100 V, option 1000 eV
  • Quadripôle triple filtre haute sensibilité, options de gamme de masse jusqu’à 5000 amu
  • Transmission du signal avec une résolution de 100 nanosecondes pour les distributions d’énergie et de masse en fonction du temps ou les études TOF
  • Lecture de la température intégrée dans l’affichage des données pour les applications de désorption thermique
  • Stabilité (moins de ±0,5% de variation de hauteur sur 24h)
  • Commande MASsoft via RS232, USB ou Ethernet LAN

EPIC / EPIC 1000 Series : système pour l'analyse UHV des neutres, des radicaux et des ions

  • Options de gamme de masse jusqu’à 5000 amu, options de diamètre de pôle de 6 ou 9 mm
  • Stabilité à long terme améliorée (moins de ±0,5% de variation de hauteur sur 24 h)
  • Distribution de l’énergie ionique par balayage du potentiel sur l’axe central ±100 V, option 1000 eV
  • Contrôle de la source d’ions pour la spectrométrie de masse par ionisation douce et potentiel d’apparition
  • Sensibilité accrue pour une transmission de masse élevée, alignement automatique de l’échelle de masse
  • Compteur d’ions à impulsions pour une gamme dynamique continue de 1 : 107 c/s sur dix ans
  • Gamme dynamique étendue jusqu’à 5×1010 c/s avec l’option Faraday
  • Résistance améliorée à la contamination grâce à l’étage de pré-filtrage exclusivement RF
  • Signal gating avec une résolution de 100 nanosecondes pour les distributions d’énergie et de masse en fonction du temps ou les études TOF
  • Lecture de la température intégrée dans les écrans de données pour les applications de désorption thermique
  • Enveloppe intégrée compatible UHV, enveloppe refroidie à l’azote liquide en option
  • Commande MASsoft via RS232, USB ou Ethernet LAN
  • Possibilité de mise à niveau vers les spécifications Plasma / SIMS

DLS-1 : analyseur quadripolaire de gaz résiduels pour la recherche sur la fusion

  • Analyse quantitative des gaz en temps réel dans une gamme de masse de 1-200 amu
  • Niveaux de détection inférieurs au PPM
  • Le DLS-1 fonctionne à la fois en mode d’analyse de masse classique et en mode TIMS
  • Résolution de l’énergie électronique de 0,5 eV sur la gamme 0-150 eV
  • Solution multi-unités à faible coût avec des solutions de protection contre les rayonnements et le magnétisme

DLS-10 : spectromètre de masse quadripolaire à ultra-haute résolution

  • Spectromètre de masse à triple filtre fonctionnant en zone H
  • Gamme de masse 1- 10 amu
  • Sensibilité à l’abondance ultra élevée
  • Résolution réglable de l’unité de masse à 0,006 AMU- FWHM
  • La combinaison d’un filtre de masse de précision micronique à diamètre de pôle de 6 mm et de la haute fréquence RF à faible gamme de masse est idéale pour l’analyse des isotopes He et H

DLS-20 : spectromètre de masse quadripolaire à ultra-haute résolution

  • Les filtres de masse à tige de 20 mm offrent des avantages significatifs pour l’analyse des mesures de rapports isotopiques :
    • Pics plats à la résolution de masse unitaire
    • Très haute sensibilité à l’abondance
    • Résolution réglable de l’unité de masse à 0,005 AMU- FWHM
  • La combinaison d’un filtre de masse de précision micronique à diamètre de pôle de 20 mm et de la RF haute puissance et haute fréquence à faible gamme de masse est idéale pour l’analyse des isotopes He et H